熱式質(zhì)量流量計 型號:D07-7C

D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是基礎款產(chǎn)品，能滿足大多數(shù)客戶流量測控基本需求。
熱式質(zhì)量流量計 型號:D07-7C
流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度 ±1.5％F.S.
重復精度 ±0.2% FS
線性 ±1％F.S.
響應時間 ≤10sec 氣特性≤4sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
輸入輸出信號 (0~+5)VDC
電源 ±15V
閥類型 常閉
溫度系數(shù)
零點飄移指標 - 無 -
電氣連接 D sub 15 pins Female
工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa
漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學成分 - 無 -
表面粗糙度 - 無 -
抗電磁干擾 CE
重量 1.1kg